キーワード: Auger depth profiling analysis
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HfO2-Fig9-Work-20230518.pdf
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-10-08 12:20:27 +0900
表面科学_13_1992_606.pdf
Auger Depth Profile Analysis of GaAs/AIAs Thin Film by Synthesized Spectrum Method Using Non-Negative Least Square Curve Fitting
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
peak separation, non-negative least-square curve fit, Auger depth profiling analysis, GaAs/AlAs multilayer
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 01:51:43 +0900