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InP/GaInAsP多層膜におけるAES深さ分解能の温度依存性
- ジャーナル論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, Depth Resolution, Sample Temperature, InP/GaInAsP多層膜
- 刊行年月日
- 1995-05-17
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:44:22 +0900
Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- ジャーナル論文
- 著者
-
Yoshikawa, Hideki (author) (この著者で検索)
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Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Nagata, Takahiro (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Auger Depth Profiling analysis, HfO2/Si, Ultra Low Angle Incidence Ion Beam
- 刊行年月日
- 2019-03-07
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:11:28 +0900