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試料の化学組成
シリコン (1)
計測法
X線光電子分光法 (1)
試料種別
シリコン (1)
装置名
XPS SPring-8 BL15 (1)
装置型番
(1)
ライセンス: Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International
キーワード: XPS
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2 件のレコードが見つかりました。
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XPS spectral data for p- and n-type Si wafers with various resistivities acquired at SPring-8 BL15
データセット
著者
SUMIYA, Masatomo
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-0960-3812
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
SUMIYA, Masatomo
キーワード
XPS
,
SPring-8 BL15
,
Si
刊行年月日
更新時刻
2024-05-24 08:30:24 +0900
Determination of Inelastic Mean Free Paths in Elemental Solids in the 200 to 5000 eV Energy Range by Absolute Elastic Peak Electron Spectroscopy
プレゼンテーション
著者
Tanuma,S
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-2628-9941
物質・材料研究機構
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Tanuma,S
;
Okamoto, N
(author) (
この著者で検索
)
物質・材料研究機構
Okamoto, N
;
Azuma, Y
(author) (
この著者で検索
)
Azuma, Y
;
Kimura, T
(author) (
この著者で検索
)
物質・材料研究機構
Kimura, T
;
Goto, K
(author) (
この著者で検索
)
名古屋工業大学
Goto, K
キーワード
IMFP
,
TPP-2M
,
AES
,
XPS
刊行年月日
2006-09-24
更新時刻
2023-07-07 09:23:43 +0900
キーワード
XPS
(2)
AES
(1)
IMFP
(1)
SPring-8 BL15
(1)
Si
(1)
TPP-2M
(1)
RDEメタデータ定義
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プレゼンテーション(1)
データセット(1)
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XPS (2)
AES (1)
IMFP (1)
SPring-8 BL15 (1)
Si (1)
TPP-2M (1)
(more)
ライセンス
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (2)
ファイル種別
application/pdf (1)
application/zip (1)
試料の化学組成
シリコン (1)
計測法
X線光電子分光法 (1)
試料種別
シリコン (1)
装置名
XPS SPring-8 BL15 (1)
装置型番
(1)