Dataset XPS spectral data for p- and n-type Si wafers with various resistivities acquired at SPring-8 BL15

SUMIYA, Masatomo SAMURAI ORCID (National Institute for Materials ScienceROR)

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SUMIYA, Masatomo. XPS spectral data for p- and n-type Si wafers with various resistivities acquired at SPring-8 BL15. https://doi.org/10.48505/nims.4513

Alternative title: 電気伝導度の異なるp型/n型 Siウエハーの価電子帯を含むXPSデータ (SPring-8 BL15)

Description:

(abstract)

Siウェハーおよび測定条件の違いによるXPSスペクトルの変化を測定したXPSスペクトルデータセット。SPring-8 BL15で測定。「試料名、抵抗率、X線アナライザー角度、ID」の構造でフォルダ分けされている（ただしAuでは「試料名、X線アナライザー角度、ID」）。本データセットは当初 NIMS RDE (Research Data Express) に登録されたものを移設したものであり、RDEによるメタデータのJSONなどを含む。
XPS spectral data set measured at SPring-8 BL15, measuring changes in XPS spectra due to differences in Si wafers and measurement conditions. Organized into folders by sample name, electrical resistivity, x-ray analyzer angle, and ID (except for Au data which are organized by sample name, x-ray analyzer angle, and ID). This work is transferred from a dataset initially deposited to NIMS RDE (Research Data Express), and contains metadata JSON created by RDE.

Data origin type: experiment

Rights:

Keyword: XPS, SPring-8 BL15, Si

Date published:

Publisher: National Institute for Materials Science

Journal:

Funding:

Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.4513

First published URL: https://dice.nims.go.jp/services/RDE/

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Contact agent: SUMIYA, Masatomo (National Institute for Materials Science) SUMIYA.Masatomo@nims.go.jp

Updated at: 2024-05-24 08:30:24 +0900

Published on MDR: 2024-05-24 08:30:24 +0900

Specimen / 試料

Name / 名称 : Si wafer

Description / 試料の説明 :

Material type / 試料種別 : silicon MatVoc

Material type description / 試料種別の説明 :

Identifier / 識別子 :

Name / 名称 : Au

Description / 試料の説明 :

Material type / 試料種別 :

Material type description / 試料種別の説明 :

Identifier / 識別子 :

Chemical composition / 試料の化学組成

Specimen ID / 試料ID :

Description / 化学組成の説明 : Si

Category / カテゴリ : silicon MatVoc

Category description / カテゴリの説明 :

Chemical composition ID / 組成ID :

Instrument / 装置

Name / 装置の名称 : XPS SPring-8 BL15

Manufacturer / 装置製作者 :

Model number / 型番 :

Description / 装置の説明 :

Function / 機能 :

Function description / 機能の説明 :

Instrument ID / 装置ID :

Instrument operator / 装置操作者 :

Instrument managing organization / 装置管理組織 :

Measurement method / 計測法

Description / 説明 :

Category / カテゴリ : x-ray photoelectron spectroscopy MatVoc

Category description / カテゴリの説明 :

Analysis field / 解析分野 :

Analysis field description / 解析分野の説明 :

Measurement environment / 計測環境 :

Standarized procedure / 標準手順 :

Measured at / 計測時刻 :

Filename Size
Filename Sumiya-Si-XPS-SP8BL15.zip (Thumbnail)
application/zip 		Size 9.83 MB Detail