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High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures
- プロシーディングス
- 著者
-
Guo Chen
;
Zilong Zhang
;
Keyun Gu
;
Liwen Sang
;
Satoshi Koizumi
;
Masaya Toda
;
Yasuo Koide
;
Zhaohui Huang
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-05-02
- 更新時刻
- 2024-10-11 16:30:28 +0900
Highly Reliable Diamond MEMS Dual Sensor for Magnetic Fields and Temperatures with Self‐Recognition Algorithms
- 論文
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Keyun Gu
;
Guo Chen
;
Liwen Sang
;
Tokuyuki Teraji
;
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Masaya Toda
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-04-30
- 更新時刻
- 2025-04-30 12:30:06 +0900