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High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures
- プロシーディングス論文
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;Guo Chen (author) (この著者で検索);Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Keyun Gu (author) (この著者で検索);Liwen Sang (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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;Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-05-02
- 更新時刻
- 2024-10-11 16:30:28 +0900
Highly Reliable Diamond MEMS Dual Sensor for Magnetic Fields and Temperatures with Self‐Recognition Algorithms
- ジャーナル論文
- 著者
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;Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Keyun Gu (author) (この著者で検索);Guo Chen (author) (この著者で検索);Liwen Sang (author) (この著者で検索)Tokuyuki Teraji (author) (この著者で検索)
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-04-30
- 更新時刻
- 2025-04-30 12:30:06 +0900