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Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Ga2O3, selective area growth
- 刊行年月日
- 2022-07-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:27 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Ga2O3, lithography
- 刊行年月日
- 2023-01-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 11:20:15 +0900