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Near-vertical plasma-free HCl gas etching on (011) β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, crystallographic etching, (011)
- 刊行年月日
- 2025-01-01
- 更新時刻
- 2026-01-24 15:43:35 +0900
Fully vertical AlN-on-SiC Schottky barrier diodes
- 論文
- 著者
-
Hironori Okumura
;
Masataka Imura
;
Fuga Miyazawa
;
Lorenzo Mainini
- キーワード
- AlN, 4H-SiC, Schottky barrier diodes
- 刊行年月日
- 2024-10-01
- 更新時刻
- 2025-10-21 15:50:30 +0900
Epitaxial relationship of NiO on (-102) β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Shinji Nakagomi
- キーワード
- Ga2O3, NiO, epitaxial relationship
- 刊行年月日
- 2023-12-01
- 更新時刻
- 2024-11-23 16:30:35 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, lithography
- 刊行年月日
- 2023-01-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 11:20:15 +0900