1 件のレコードが見つかりました。
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
- 刊行年月日
- 2025-05-01
- 更新時刻
- 2025-05-07 12:30:22 +0900