21 件のレコードが見つかりました。
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, TMAH
- 刊行年月日
- 2026-02-01
- 更新時刻
- 2026-02-25 12:30:03 +0900
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
;
Shiyu Xiao
;
Kazuto Murakami
;
Katsuhiro Imai
;
Takahiro Tomita
- キーワード
- Ga2O3, HVPE, Cr2O3
- 刊行年月日
- 2026-02-21
- 更新時刻
- 2026-02-18 16:30:15 +0900
Mapping primary crystallographic planes in β -Ga 2 O 3 based on a pseudo-cubic oxygen sublattice
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, fcc
- 刊行年月日
- 2026-02-16
- 更新時刻
- 2026-02-18 16:30:08 +0900
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HVPE
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-11-28 08:30:04 +0900
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-11-01
- 更新時刻
- 2025-11-27 08:30:13 +0900
HCl-gas etching of (001) β-Ga2O3 under oxygen supply
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, etching, plasma-free
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:19 +0900
Comparative Study of the Optical Properties of α‐, β‐, and κ‐Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Lewis T. Penman
;
Zak M. Johnston
;
Paul R. Edwards
;
Yuichi Oshima
;
Clifford McAleese
;
Piero Mazzolini
;
Matteo Bosi
;
Luca Seravalli
;
Roberto Fornari
;
Robert W. Martin
;
Fabien C.‐P. Massabuau
- キーワード
- Ga2O3
- 刊行年月日
- 2025-02-12
- 更新時刻
- 2025-08-18 16:30:52 +0900
Step-and-terrace surface formation on (001) β-Ga2O3 by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, Wet etching
- 刊行年月日
- 2025-08-01
- 更新時刻
- 2025-08-18 16:30:36 +0900
Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takashi Shinohe
- キーワード
- Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
- 刊行年月日
- 2025-05-19
- 更新時刻
- 2025-05-21 16:30:09 +0900
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
- 刊行年月日
- 2025-05-01
- 更新時刻
- 2025-05-07 12:30:22 +0900