ファイル種別: application/pdf キーワード: HVPE
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alpha-Ga2O3-ver4.0.pdf
Halide Vapor Phase Epitaxy of twin-free a-Ga2O3 on sapphire (0001) substrates
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)
;
Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2015-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:34:09 +0900
Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor.pdf
Epitaxial growth of phase-pure e-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)
;
Yoshitaka Matsushita (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Satoshi Yamamoto (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID ;
Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
κ-Ga2O3, ε-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2015-08-28
更新時刻
2024-01-30 15:45:38 +0900
paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
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