ファイル種別: application/pdf キーワード: HVPE
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HVPE-aGa2O3-rapid growth200203.pdf
Rapid growth of α-Ga2O3 by HCl-boosted halide vapor phase epitaxy and effect of precursor supply conditions on crystal properties
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2020-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:40:57 +0900
Rapid homoepitaxial growth of 011 -Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy.pdf
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
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