Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900
[Research Highlights Vol.68] New GaN MEMS Resonator Is Temperature-Stable up to 600 K
- 雑誌
- コレクション
- Research Highlights
- 著者
-
International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA) (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- GaN, MEMS, NEMS, energy storage, temperature coefficient of frequency, AlN, Si, Strain
- 刊行年月日
- 2021-07-13
- 更新時刻
- 2023-12-26 21:38:08 +0900