ファイル種別: application/pdf キーワード: Auger depth profiling analysis
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表面科学_13_1992_606.pdf
Auger Depth Profile Analysis of GaAs/AIAs Thin Film by Synthesized Spectrum Method Using Non-Negative Least Square Curve Fitting
論文
著者
OGIWARA, Toshiya SAMURAI ORCID ; TANUMA, Shigeo SAMURAI ORCID
キーワード
peak separation, non-negative least-square curve fit, Auger depth profiling analysis, GaAs/AlAs multilayer
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 01:51:43 +0900