Auger Depth Profiling Analyses of InP/GaInAsP Multilayers
- ジャーナル論文
- 著者
-
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
;
TANUMA, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- argon ion sputtering, InP/GaInAsP multilayer specimens, Auger depth profiling analysis
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 02:01:29 +0900
Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察
- ジャーナル論文
- 著者
-
Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
;
Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- argon ion sputtering, compound semiconductor, surface observation using a scanning electron microscope
- 刊行年月日
- 1995-03-08
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:31:38 +0900