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Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuhao Shi (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7956-193X
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Masatake Tsuji (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-3404-6037
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Hanjun Cho (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0009-2834-8846
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Shigenori Ueda (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Junghwan Kim (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0001-9168-6260
(unauthenticated)
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Hideo Hosono (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- oxide semiconductors, IGZO, thin-film transistors, contact resistance, palladium, hydrogen
- 刊行年月日
- 2024-04-02
- 更新時刻
- 2024-04-08 16:30:22 +0900
XAFS spectrum of Palladium
- データセット
- コレクション
- MDR XAFS DB
- 著者
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Masashi Ishii (editor) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Aichi SR (author) (この著者で検索)Aichi Synchrotron Radiation Center
- キーワード
- palladium, Pd, Pd K-edge, Pure metal, Si(311), BL11S2, Aichi SR, XAFS, collection - MDR XAFS DB, Palladium
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-05-02 21:40:32 +0900