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Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy, Quantitative Evaluation of the Surface Roughness Caused by Ion Sputtering
- ジャーナル論文
- 著者
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OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
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TANUMA, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- depth resolution function, InP/GaInAsP multilayer specimens, Auger depth profiling analysis, surface roughness, atomic force microscope
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:24:02 +0900
Auger Depth Profiling Analyses of InP/GaInAsP Multilayers
- ジャーナル論文
- 著者
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OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
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TANUMA, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- argon ion sputtering, InP/GaInAsP multilayer specimens, Auger depth profiling analysis
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 02:01:29 +0900