Download file (1.08 MB)
Download as zip (1.07 MB)

Collection

Citation

Description:

本研究では、SCDの(100)面におけるヤング率の異方性を明らかにすることを目的として、0°〜360°にわたって配置した「ワゴンホイール」型マイクロカンチレバーアレイを用い、実験的評価を行った。得られた共振特性の解析から、高品質SCDに対する信頼性の高いコンプライアンス定数を抽出した。これらの結果は、SCDを用いたマイクロ電気機械システム（MEMS）デバイスの設計およびモデリングにおいて、弾性異方性が極めて重要な設計因子であることを示している。本研究は、機械的特性を最適化したダイヤモンド部材の工学的設計に資する有用な指針を提供するものである。

Rights:

• In Copyright
  

Keyword: Diamond, MEMS

Conference: 第３９回ダイヤモンドシンポジウム (2025-11-12 - 2025-11-14)

Funding:

Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5859

First published URL:

Related item:

Other identifier(s):

Contact agent:

Updated at: 2025-11-06 12:30:37 +0900

Published on MDR: 2025-11-06 12:25:00 +0900