Presentation 単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析

張 兆宗 ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構) ; ザオ ウェン ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構) ; 陳 果 ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構) ; 小泉 聡 SAMURAI ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構) ; 廖 梅勇 SAMURAI ORCID (電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ, 物質・材料研究機構)

NIMS張兆宗abstract Liao.docx
Download file (1.08 MB)
Download as zip (1.07 MB)
Collection

Citation
張 兆宗, ザオ ウェン, 陳 果, 小泉 聡, 廖 梅勇. 単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析. https://doi.org/10.48505/nims.5859

Description:

(abstract)

本研究では、SCDの(100)面におけるヤング率の異方性を明らかにすることを目的として、0°〜360°にわたって配置した「ワゴンホイール」型マイクロカンチレバーアレイを用い、実験的評価を行った。得られた共振特性の解析から、高品質SCDに対する信頼性の高いコンプライアンス定数を抽出した。これらの結果は、SCDを用いたマイクロ電気機械システム（MEMS）デバイスの設計およびモデリングにおいて、弾性異方性が極めて重要な設計因子であることを示している。本研究は、機械的特性を最適化したダイヤモンド部材の工学的設計に資する有用な指針を提供するものである。

Rights:

Keyword: Diamond, MEMS

Conference: 第３９回ダイヤモンドシンポジウム (2025-11-12 - 2025-11-14)

Funding:

Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.5859

First published URL:

Related item:

Other identifier(s):

Contact agent:

Updated at: 2025-11-06 12:30:37 +0900

Published on MDR: 2025-11-06 12:25:00 +0900

Filename Size
Filename NIMS張兆宗abstract Liao.docx (Thumbnail)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document 		Size 1.08 MB Detail