@misc{unknown-a, title = {単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析}, author = {張 兆宗, ザオ ウェン, 陳 果, 小泉 聡, 廖 梅勇}, publisher = {一般社団法人 ニューダイヤモンドフォーラム}, year = {}, keywords = {Diamond, MEMS} }