ポスター フェムト秒レーザーを用いたサブミリシリアルセクショニング技術の最適化

原 由佳 (構造材料研究センター/材料評価分野/微細組織解析グループ, 物質・材料研究機構) ; 柿沼 洋 ORCID (マテリアル基盤研究センター/材料設計分野/材料モデリンググループ, 物質・材料研究機構) ; 原 徹 SAMURAI ORCID (構造材料研究センター, 物質・材料研究機構) ; 出村 雅彦 SAMURAI ORCID (マテリアル基盤研究センター/材料設計分野/材料モデリンググループ, 物質・材料研究機構)

コレクション

引用
原 由佳, 柿沼 洋, 原 徹, 出村 雅彦. フェムト秒レーザーを用いたサブミリシリアルセクショニング技術の最適化. https://doi.org/10.48505/nims.6316

代替タイトル: Optimization of Submillimeter Serial Sectioning Technique using Femtosecond Laser

説明:

(abstract)

FIB-SEM複合機に搭載されたフェムト秒レーザーを用いて、レーザーの加工条件を最適化した。さらにこの技術を応用してサブミリシリアルセクショニングに成功した。この結果を発表内容とする。

権利情報:

キーワード: フェムト秒レーザー, サブミリシリアルセクショニング, 3D-EBSD

刊行年月日:

出版者:

掲載誌:

会議: 日本顕微鏡学会 第82回学術講演会 (2026-05-25 - 2026-05-27)

研究助成金:

  • JST BOOST JPMJBY24B9 (若手研究者支援)

原稿種別: 論文以外のデータ

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6316

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更新時刻: 2026-06-02 08:30:17 +0900

MDRでの公開時刻: 2026-06-01 18:34:06 +0900

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ファイル名 2026.5顕微鏡学会ポスター最終版.pdf (サムネイル)
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サイズ 9.72MB 詳細