Collection

Citation

Alternative title: Optimization of Submillimeter Serial Sectioning Technique using Femtosecond Laser

Description:

(abstract)

FIB-SEM複合機に搭載されたフェムト秒レーザーを用いて、レーザーの加工条件を最適化した。さらにこの技術を応用してサブミリシリアルセクショニングに成功した。この結果を発表内容とする。

Rights:

• In Copyright
  

Keyword: フェムト秒レーザー, サブミリシリアルセクショニング, 3D-EBSD

Date published:

Publisher:

Journal:

Conference: 日本顕微鏡学会　第82回学術講演会 (2026-05-25 - 2026-05-27)

Funding:

• JST BOOST JPMJBY24B9 (若手研究者支援)

Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6316

First published URL:

Related item:

Other identifier(s):

Contact agent:

Updated at: 2026-06-02 08:30:17 +0900

Published on MDR: 2026-06-01 18:34:06 +0900