Poster フェムト秒レーザーを用いたサブミリシリアルセクショニング技術の最適化

原 由佳 (構造材料研究センター/材料評価分野/微細組織解析グループ, 物質・材料研究機構) ; 柿沼 洋 ORCID (マテリアル基盤研究センター/材料設計分野/材料モデリンググループ, 物質・材料研究機構) ; 原 徹 SAMURAI ORCID (構造材料研究センター, 物質・材料研究機構) ; 出村 雅彦 SAMURAI ORCID (マテリアル基盤研究センター/材料設計分野/材料モデリンググループ, 物質・材料研究機構)

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原 由佳, 柿沼 洋, 原 徹, 出村 雅彦. フェムト秒レーザーを用いたサブミリシリアルセクショニング技術の最適化. https://doi.org/10.48505/nims.6316

Alternative title: Optimization of Submillimeter Serial Sectioning Technique using Femtosecond Laser

Description:

(abstract)

FIB-SEM複合機に搭載されたフェムト秒レーザーを用いて、レーザーの加工条件を最適化した。さらにこの技術を応用してサブミリシリアルセクショニングに成功した。この結果を発表内容とする。

Rights:

Keyword: フェムト秒レーザー, サブミリシリアルセクショニング, 3D-EBSD

Date published:

Publisher:

Journal:

Conference: 日本顕微鏡学会　第82回学術講演会 (2026-05-25 - 2026-05-27)

Funding:

  • JST BOOST JPMJBY24B9 (若手研究者支援)

Manuscript type: Not a journal article

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.6316

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Updated at: 2026-06-02 08:30:17 +0900

Published on MDR: 2026-06-01 18:34:06 +0900

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