@misc{unknown-a, title = {フェムト秒レーザーを用いたサブミリシリアルセクショニング技術の最適化}, author = {原 由佳, 柿沼 洋, 原 徹, 出村 雅彦}, publisher = {}, year = {}, keywords = {フェムト秒レーザー, サブミリシリアルセクショニング, 3D-EBSD} }