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Filtering by: Publisher Surface Analysis Society of Japan Material/Specimen InP/GaInAsP Multilayer Film

InP/GaInAsP多層膜におけるAES深さ分解能の温度依存性

Description/Abstract:

InP/GaInAsP多層膜を用いて，AES深さ方向分析における深さ分解能の試料温度依存性について検討を行なった．試料温度は，０〜５０℃（１０℃間隔）およびー１２０，−２０℃の８条件としてデプスプロファイルを取得した．スパッタリング条件は，イオン種：Ar，イオン加速電圧：1...

Keyword:

InP/GaInAsP多層膜, Auger Depth Profiling Analysis, Depth Resolution, and Sample Temperature

Material/Specimen:

InP/GaInAsP Multilayer Film

Resource Type:

Article

Author:

Ogiwara, Toshiya and Tanuma, Shigeo

Journal:

Journal of Surface Analysis

Date Uploaded:

28/05/2021

Date Modified:

28/05/2021