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Filtering by: Journal JOURNAL OF SURFACE ANALYSIS Keyword AES

オージェ電子分光法における背面散乱補正　I．広い分析条件で使用可能な電子の背面散乱補正式の開発

Description/Abstract:

AESによる表面定量分析において重要な電子の背面散乱について検討した．電子の背面散乱係数の入射角度依存性，およびそのエネルギーの平均値および中央値について，モンテカルロ(MC)法を用いてBe, B, C, Al, Si, Cu, Zr, Ag, La, Auの10種類の元素...

Keyword:

AES, Auger electron spectroscopy, electron backscattering correction, and predictive formula for back scattering correction

Resource Type:

Article

Author:

田沼繁夫

Journal:

JOURNAL OF SURFACE ANALYSIS

Date Uploaded:

29/06/2023