半球型電子分光器を搭載したオージェ電子分光装置では，傾斜ホルダーを用いると装置のジオ メトリー特性との関係からイオン及び一次電子の入射角の自由度が大きくなる.特に試料回転の 回転軸が一次電子の入射方向と一致する場合は，傾斜ホルダーの回転角によってイオン入射角を 設定でき，電...

We developed a 85°-high-angle inclined specimen holder which enabled the specimen surface to be irradiated by both electron and ion beams...