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Filtering by: Author 田沼繁夫 Keyword Auger electron spectroscopy Language Japanese Publisher 一般社団法人　表面分析研究会 Resource type Article

Description/Abstract:: AESによる表面定量分析において重要な電子の背面散乱について検討した．電子の背面散乱係数の入射角度依存性，およびそのエネルギーの平均値および中央値について，モンテカルロ(MC)法を用いてBe, B, C, Al, Si, Cu, Zr, Ag, La, Auの10種類の元素...
Keyword:: AES, Auger electron spectroscopy, electron backscattering correction, and predictive formula for back scattering correction
Resource Type:: Article
Author:: 田沼繁夫
Journal:: JOURNAL OF SURFACE ANALYSIS
Date Uploaded:: 29/06/2023

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