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InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）

Description/Abstract:

AES深さ方向分析の標準化を進めるために，InP/GaInAs多層膜を用いたデプスプロファイル測定のラウンドロビン試験を行った．参加した２３機関の装置は３社に分類され，その仕様が異なるため，測定条件は電子線およびイオンの加速電圧を3kVに固定して，その他の条件は各機関に一任...

Keyword:

Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAs Specimen, and Round Robin Test

Material/Specimen:

InP/GaInAs Multilayer

Resource Type:

Article

Author:

Ogiwara, Toshiya and Tanuma, Shigeo

Journal:

Journal of Surface Analysis

Date Uploaded:

29/07/2021

Date Modified:

02/08/2021