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<i>In-plane</i> lattice orientation in aluminum scandium nitride epitaxial films deposited on Nb-doped SrTiO<sub>3</sub>(111) substrates via reactive magnetron sputtering
- 論文
- 著者
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Kota Hasegawa
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Takao Shimizu
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Naoki Ohashi
- キーワード
- (Al,Sc)N, Epitaxial films, magnetron sputtering, strontium titanate, lattice mismatch, lattice orientation, Scandium Aluminate
- 刊行年月日
- 2023-07-01
- 更新時刻
- 2025-04-14 16:30:51 +0900