コンビナトリアルスパッタ成膜法によるMgSiSn系薄膜のナノ構造制御と熱電特性

プレゼンテーション

著者

後藤 真宏 (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-1003-2781

物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ

NIMS Researchers Directory SAMURAI

後藤 真宏 ;

佐々木 道子 (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-2336-5788

物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点/ナノマテリアル分野/熱エネルギー変換材料グループ

NIMS Researchers Directory SAMURAI

佐々木 道子

キーワード

コンビナトリアルスパッタ, ナノ構造, 熱電, 薄膜

刊行年月日

更新時刻

2024-12-13 12:30:41 +0900