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Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察
- ジャーナル論文
- 著者
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Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- argon ion sputtering, compound semiconductor, surface observation using a scanning electron microscope
- 刊行年月日
- 1995-03-08
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:31:38 +0900