Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察

論文

著者

Ogiwara, Toshiya ; Tanuma, Shigeo

キーワード

argon ion sputtering, compound semiconductor, surface observation using a scanning electron microscope

刊行年月日

1995-03-08

更新時刻

2022-10-03 01:31:38 +0900