資源タイプ: journal_article キーワード: Argon Ion Spot Beam
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表面科学_13_1992_595.pdf
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayer Structure with Auger Electron Spectroscopy by Using Argon Ion Spot Beam
論文
著者
OGIWARA, Toshiya SAMURAI ORCID ; HARADA, Tomoko ; TANUMA, Shigeo SAMURAI ORCID
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayer Specimen, Argon Ion Spot Beam
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 02:04:45 +0900