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Oxygen reduction for p-type TeOx thin-film transistor
- ジャーナル論文
- 著者
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Seiichi Kato (author) (この著者で検索)
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Masayuki Okamura (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0003-3636-6653
(unauthenticated)
NIMS MANA
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Tomomi Sawada (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-2335-4480
(unauthenticated)
NIMS MANA
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Toshihide Nabatame (author) (この著者で検索)
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Kazuhito Tsukagoshi (author) (この著者で検索)
- キーワード
- oxide transistor, p-type TFT, TeOx, BEOL compatible, reducing agent, tungsten
- 刊行年月日
- 2026-05-25
- 更新時刻
- 2026-06-09 17:58:56 +0900
Experimental formation and mechanism study for super-high dielectric constant AlOx/TiOy nanolaminates
- ジャーナル論文
- 著者
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Jiangwei Liu (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Masayuki Okamura (author) (この著者で検索);Hisanori Mashiko (author) (この著者で検索)Masataka Imura (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Ryosuke Kikuchi (author) (この著者で検索);Michio Suzuka (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- super-high dielectric constant, nanolaminate, ATO
- 刊行年月日
- 2023-04-02
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:11:41 +0900