Phase-controlled epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy

ジャーナル論文

著者

Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8293-4891

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Yuichi Oshima ;

Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)

Katsuaki Kawara ;

Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)

Takayoshi Oshima ;

Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)

Mitsuru Okigawa ;

Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)

Takashi Shinohe

キーワード

α-Ga2O3, ELO, HVPE

刊行年月日

2020-02-01

更新時刻

2024-01-22 09:41:33 +0900