論文・データセット - MDR: NIMS Materials Data Repository

キーワード: (011)

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Near-vertical plasma-free HCl gas etching on (011) β-Ga₂O₃

ジャーナル論文
著者: Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8550-9735

NIMS Researchers Directory SAMURAI

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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8293-4891

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キーワード: Ga2O3, crystallographic etching, (011)
刊行年月日: 2025-01-01
更新時刻: 2026-01-24 15:43:35 +0900

jjap_65_13_138001.pdf

(110)- and (−134)-faceted surface morphology of halide vapor phase epitaxy-grown β- Ga ₂ O ₃ homoepitaxial layers on (011) substrates

ジャーナル論文
著者: Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8550-9735

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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8293-4891

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キーワード: Ga2O3, (011), AFM, TEM
刊行年月日: 2026-07-15
更新時刻: 2026-07-09 10:29:39 +0900