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Highly Reliable Diamond MEMS Dual Sensor for Magnetic Fields and Temperatures with Self‐Recognition Algorithms
- ジャーナル論文
- 著者
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;Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Keyun Gu (author) (この著者で検索);Guo Chen (author) (この著者で検索);Liwen Sang (author) (この著者で検索)Tokuyuki Teraji (author) (この著者で検索)
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-04-30
- 更新時刻
- 2025-04-30 12:30:06 +0900
Higher-order resonance of single-crystal diamond cantilever sensors toward high f‧Q products
- ジャーナル論文
- 著者
-
;Guo Chen (author) (この著者で検索)Zilong Zhang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Liwen Sang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索);Haitao Ye (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-02-01
- 更新時刻
- 2024-08-31 08:30:32 +0900