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Surface Modification for High-Reliability and Multi-Functional Hybrid Interconnections
- プレゼンテーション
- 著者
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Akitsu Shigetou (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science Research Center for Materials Nanoarchitectonics (MANA)/Semiconductor Materials Field/Smart Interface Team
- キーワード
- Low temperature bonding, Electronics packaging, VUV, Hybrid bonding
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2026-01-20 17:12:48 +0900
界⾯ナノ構造の制御による接合と分離の両⽴にむけて
- プレゼンテーション
- 著者
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重藤 暁津 (author) (この著者で検索)物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/半導体材料分野/スマートインターフェイスチーム
- キーワード
- 接合, 分離, エレクトロニクス実装
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2026-01-20 17:17:29 +0900