MDRについて
ヘルプ
お問い合わせ
Switch language
日本語
English
ログイン
ログイン
Search MDR
Home
論文・データセット
コレクション
資源タイプ
ジャーナル論文(12)
キーワード
MEMS (12)
Diamond (9)
CMOS (1)
Ga2O3 (1)
Magnetic sensors (1)
TMAH (1)
air bridge (1)
cantilever (1)
gas sensor (1)
magnetic sensors (1)
(more)
ライセンス
In Copyright (6)
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (3)
Creative Commons BY Attribution 4.0 International (2)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (7)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (5)
資源タイプ: ジャーナル論文
キーワード: MEMS
全ての絞り込みを解除
12 件のレコードが見つかりました。
Disclosing the annihilation effect of ion-implantation induced defects in single-crystal diamond by resonant MEMS
ジャーナル論文
著者
Guo Chen
(author) (
この著者で検索
)
Guo Chen
;
Zilong Zhang
(author) (
この著者で検索
)
Zilong Zhang
;
Yasuo Koide
(author) (
この著者で検索
)
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
(author) (
この著者で検索
)
Satoshi Koizumi
;
Zhaohui Huang
(author) (
この著者で検索
)
Zhaohui Huang
;
Meiyong Liao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
刊行年月日
2023-07-26
更新時刻
2025-07-26 08:30:34 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
ジャーナル論文
著者
Zilong Zhang
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-9759-9253
National Institute for Materials Science
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
(author) (
この著者で検索
)
Wen Zhao
;
Guo Chen
(author) (
この著者で検索
)
National Institute for Materials Science
Guo Chen
;
Masaya Toda
(author) (
この著者で検索
)
Masaya Toda
;
Satoshi Koizumi
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-4961-5658
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8321-9822
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
Magnetic sensors
刊行年月日
2023-03-27
更新時刻
2024-07-04 16:30:34 +0900
キーワード
MEMS
(12)
Diamond
(9)
CMOS
(1)
Ga2O3
(1)
Magnetic sensors
(1)
TMAH
(1)
air bridge
(1)
cantilever
(1)
gas sensor
(1)
magnetic sensors
(1)
surface conductivity
(1)
wet etching
(1)
β-Ga2O3
(1)
RDEメタデータ定義
RDE送り状
<
1
2
>