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Disclosing the annihilation effect of ion-implantation induced defects in single-crystal diamond by resonant MEMS
- 論文
- 著者
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Guo Chen
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Zilong Zhang
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Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Zhaohui Huang
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2023-07-26
- 更新時刻
- 2025-07-26 08:30:34 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- 論文
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Masaya Toda
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, Magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2023-03-27
- 更新時刻
- 2024-07-04 16:30:34 +0900