資源タイプ: ジャーナル論文 キーワード: MEMS

12 件のレコードが見つかりました。

Revised Maunscript (clean version) .pdf
Disclosing the annihilation effect of ion-implantation induced defects in single-crystal diamond by resonant MEMS
ジャーナル論文
著者
Guo Chen (author) (この著者で検索)
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Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS
刊行年月日
2023-07-26
更新時刻
2025-07-26 08:30:34 +0900

AFM-resonator_sensor-20230307 .pdf
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
ジャーナル論文
著者
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID ;
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
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Guo Chen (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
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Masaya Toda (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS, Magnetic sensors
刊行年月日
2023-03-27
更新時刻
2024-07-04 16:30:34 +0900