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Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy. Effects of Zalar Rotation and Liquid Nitrogen Cold Stage
- 論文
- 著者
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Ogiwara, Toshiya
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Tanuma, Shigeo
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Nagasawa, Yuji
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Ikeo, Nobuyuki
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayers, Zalar Rotation Method, Sample Cooling Method
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:53:08 +0900