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Reducing vertex radius of curvature for 100 nm size square and triangular holes in GaN by shape modification
- ジャーナル論文
- 著者
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;Kohei Tuzuku (author) (この著者で検索)Masataka Imura (author) (この著者で検索)
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Hironori Okumura (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-5464-9169
(unauthenticated)
- キーワード
- GaN, EB lithography
- 刊行年月日
- 2025-06-01
- 更新時刻
- 2025-12-26 10:20:58 +0900
Decomposition Behavior of GaN Under Solid and Ambient N2 Pressure
- ジャーナル論文
- 著者
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Fumio Kawamura (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Hidenobu Murata (author) (この著者で検索)JFCCNaoomi Yamada (author) (この著者で検索)Chubu university
- キーワード
- GaN, Decomposition, High pressure, Nitrogen atmosphere
- 刊行年月日
- 2024-08-12
- 更新時刻
- 2026-02-14 20:25:25 +0900