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Dataset
Electrodeposited copper film data
データセット
著者
Ryo Tamura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
;
Ryuichi Inaba (author) (この著者で検索)
Mitsubishi Materials Corporation
;
Mami Watanabe (author) (この著者で検索)
Mitsubishi Materials Corporation
;
Yutaro Mori (author) (この著者で検索)
Mitsubishi Materials Corporation
;
Makoto Urushihara (author) (この著者で検索)
Mitsubishi Materials Corporation
;
Kenji Yamaguchi (author) (この著者で検索)
Mitsubishi Materials Corporation
;
Shoichi Matsuda (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
キーワード
Electrodeposition, copper film
刊行年月日
更新時刻
2024-10-30 16:30:48 +0900
データセット
PoLyInfo Conceptual Schema Version 1.2
データセット
コレクション
PoLyInfo Knowledge Collection
著者
Masashi Ishii (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Koichi Sakamoto (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
キーワード
Polymer chemistry knowledge, PoLyInfo, Conceptual schema, ShEx, collection - PoLyInfo Knowledge
刊行年月日
更新時刻
2026-09-25 10:02:05 +0900
データセット
PoLyInfo Conceptual Schema Version 1.1
データセット
コレクション
PoLyInfo Knowledge Collection
著者
Masashi Ishii (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Koichi Sakamoto (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
キーワード
Polymer chemistry knowledge, PoLyInfo, Conceptual schema, ShEx, collection - PoLyInfo Knowledge
刊行年月日
更新時刻
2025-05-03 08:30:28 +0900
Dataset
PoLyInfo Conceptual Schema Version 1.0
データセット
コレクション
PoLyInfo Knowledge Collection
著者
Masashi Ishii (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Koichi Sakamoto (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
キーワード
Polymer chemistry knowledge, PoLyInfo, Conceptual schema, ShEx, collection - PoLyInfo Knowledge
刊行年月日
更新時刻
2024-03-27 12:30:25 +0900
HfO2-Fig12-Work-20230803.pdf
Raw data files for Fig. 12 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:13:20 +0900
HfO2-Fig11-Work-20230710.pdf
Raw data files for Fig. 11 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-04-07 22:57:41 +0900
HfO2-Fig10-Work-20230606.pdf
Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:41 +0900
HfO2-Fig9-Work-20230518.pdf
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-10-08 12:20:27 +0900
HfO2-Fig5-Work-20230419.pdf
Raw data files for Fig. 5 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:38 +0900
HfO2-Fig6-Work-20230118.pdf
Raw data files for Fig. 6 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:25 +0900
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