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ジャーナル論文
ダイヤモンド電界効果トランジスタ
ジャーナル論文
著者
山口 尚秀 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 ナノアーキテクトニクス材料研究センター/量子材料分野/表面量子相物質グループ
ORCID SAMURAI
キーワード
ダイヤモンド, トランジスタ, 電界効果
刊行年月日
更新時刻
2026-03-01 12:30:15 +0900
HfO2-Fig12-Work-20230803.pdf
Raw data files for Fig. 12 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:13:20 +0900
HfO2-Fig11-Work-20230710.pdf
Raw data files for Fig. 11 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-04-07 22:57:41 +0900
HfO2-Fig10-Work-20230606.pdf
Raw data files for Fig. 10 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:41 +0900
HfO2-Fig9-Work-20230518.pdf
Raw data files for Fig. 9 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-10-08 12:20:27 +0900
HfO2-Fig5-Work-20230419.pdf
Raw data files for Fig. 5 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:38 +0900
HfO2-Fig6-Work-20230118.pdf
Raw data files for Fig. 6 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
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YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-03-30 18:50:25 +0900
HfO2-Fig7-Work-20221213.pdf
Raw data files for Fig. 7 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:12:25 +0900
HfO2-Fig8-Work-20220304-2.pdf
Raw data files for Fig. 8 Auger depth profiles in "Auger Depth Profiling Analysis of HfO2/Si Specimen Using an Ultra Low Angle Incidence Ion Beam"
データセット
著者
OGIWARA, Toshiya (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
NAGATA, Takahiro (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
YOSHIKAWA, Hideki (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Auger depth profiling analysis, HfO2/Si, Ultra low angle incidence ion beam
刊行年月日
2019-03-07
更新時刻
2024-01-05 22:11:29 +0900
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