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Low-Energy Dissipation Diamond MEMS
- ジャーナル論文
- 著者
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;Guo Chen (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-09-27
- 更新時刻
- 2025-07-29 08:30:21 +0900
Single-Crystal Diamond MEMS Magnetic Sensor
- 書籍
- 著者
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Zilong Zhang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2024-05-22
- 更新時刻
- 2024-10-21 12:30:45 +0900