ファイル種別: application/pdf 資源タイプ: journal_article キーワード: depth resolution function
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表面科学_17_1996_758.pdf
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy, Quantitative Evaluation of the Surface Roughness Caused by Ion Sputtering
論文
著者
OGIWARA, Toshiya SAMURAI ORCID ; TANUMA, Shigeo SAMURAI ORCID
キーワード
depth resolution function, InP/GaInAsP multilayer specimens, Auger depth profiling analysis, surface roughness, atomic force microscope
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 01:24:02 +0900