ファイル種別: application/pdf キーワード: Auger Depth Profiling Analysis
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表面科学_13_1992_472.pdf
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy. Effects of Zalar Rotation and Liquid Nitrogen Cold Stage
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Nagasawa, Yuji (author) (この著者で検索)
;
Ikeo, Nobuyuki (author) (この著者で検索)
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayers, Zalar Rotation Method, Sample Cooling Method
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 01:53:08 +0900
表面科学_13_1992_595.pdf
Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayer Structure with Auger Electron Spectroscopy by Using Argon Ion Spot Beam
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
HARADA, Tomoko (author) (この著者で検索)
; ORCID SAMURAI
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayer Specimen, Argon Ion Spot Beam
刊行年月日
2011-06-10
更新時刻
2022-10-03 02:04:45 +0900
JSA_Vol18_No3_174.pdf
High-Sensitivity and High-Depth Resolution Auger Depth Profiling Using an Inclined Holder based on Geometric Characteristics of Auger Electron Spectroscopy Apparatus Equipped with Concentric Hemispherical Analyzer
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Kim, Kyung Joong (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Nagatomi, Takaharu (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, Si/Ge multiple delta-doped layers, GaAs/AlAs Superlattice, Inclined Holder
刊行年月日
2016-04-03
更新時刻
2024-01-05 22:13:47 +0900
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