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High-order resonance enhancing the mass sensitivity of diamond cantilevers
- ジャーナル論文
- 著者
-
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0001-8159-8195
(unauthenticated)
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Guo Chen (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0004-9263-5616
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Keyun Gu (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7505-7744
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-04-01
- 更新時刻
- 2025-07-12 08:30:35 +0900
20.1 A 3.5×3.5mm2 1.47mW/ch 16-Channel MSS-CMOS Heterogeneous Multi-Modal-Gas-Sensor Chip Stack
- ジャーナル論文
- 著者
-
;Kotaro Naruse (author) (この著者で検索);Naru Kato (author) (この著者で検索);Takuma Matsumori (author) (この著者で検索);Jun Shlomi (author) (この著者で検索);Yoshihiro Midoh (author) (この著者で検索);Tetsuya Hirose (author) (この著者で検索)Gaku Imamura (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Genki Yoshikawa (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Constantine Sideris (author) (この著者で検索)Noriyuki Miura (author) (この著者で検索)
- キーワード
- gas sensor, CMOS, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-02-16
- 更新時刻
- 2025-12-25 16:21:05 +0900
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Masaya Toda (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0003-3849-6948
(unauthenticated)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2025-03-01
- 更新時刻
- 2025-05-19 16:30:19 +0900