ファイル種別: application/pdf キーワード: Ga2O3
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jjap_64_8_088001.pdf
Step-and-terrace surface formation on (001) β-Ga2O3 by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, Wet etching
刊行年月日
2025-08-01
更新時刻
2025-08-18 16:30:36 +0900
Oshima - 2026 - Step-and-terrace surface formation on (−112) β-Ga 2 O 3 via thermal annealing-annotated.pdf
Step-and-terrace surface formation on (−112) β-Ga 2 O 3 via thermal annealing
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3
刊行年月日
2026-09-15
更新時刻
2026-09-14 09:13:42 +0900
paper.pdf
Formation of near-vertical trenches and fins with flat {−201} sidewalls on (512) β-Ga 2 O 3 via TMAH wet etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-09-24 09:54:18 +0900
paper.pdf
Wet etching of (−102) β-Ga 2 O 3 with tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, wet etching, TMAH
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-06-11 15:11:01 +0900
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