キーワード: Hybrid bonding
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2 件のレコードが見つかりました。

JAFOE.pdf
Surface Modification for High Reliability and Reversible Hybrid Interconnection
会議発表ポスター
著者
Akitsu Shigetou (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Materials Nanoarchitectonics (MANA)/Semiconductor Materials Field/Smart Interface Team
ORCID SAMURAI
キーワード
Hybrid bonding, Cu, Solid state debonding
刊行年月日
更新時刻
2026-01-21 09:20:22 +0900
250430 NY S U draft.pdf
Surface Modification for High-Reliability and Multi-Functional Hybrid Interconnections
プレゼンテーション
著者
Akitsu Shigetou (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Materials Nanoarchitectonics (MANA)/Semiconductor Materials Field/Smart Interface Team
ORCID SAMURAI
キーワード
Low temperature bonding, Electronics packaging, VUV, Hybrid bonding
刊行年月日
更新時刻
2026-01-20 17:12:48 +0900