Arイオンスパッタリングされた各種化合物半導体表面のSEM観察

ジャーナル論文

著者

Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0002-7376-6571

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Ogiwara, Toshiya ;

Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0003-2628-9941

NIMS Researchers Directory SAMURAI

Tanuma, Shigeo

キーワード

argon ion sputtering, compound semiconductor, surface observation using a scanning electron microscope

刊行年月日

1995-03-08

更新時刻

2022-10-03 01:31:38 +0900