ライセンス: Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International キーワード: etching
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Clean manuscript(211010).pdf
Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Shingo Yagyu (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, dislocation, etching
刊行年月日
2021-10-19
更新時刻
2024-01-22 09:38:31 +0900