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近年、研究開発にかけられる予算や人的資源が抑制・削減されている一方、新規材料開発期間の短縮が要求されている。そこで、非常に効率良く材料探索が可能なコンビナトリアル法を取り入れた新規スパッタ法を開発してきた。筆者の目指すコンビナトリアル法は、研究者の経験やマテリアルズ・インフォマティックスによりもたらされる材料探索指針に基づいて、その予測部分を中心に材料探索を行うものであり、全ての材料探索空間を網羅的に探索可能な万能な技術ではない。しかしながら、これまでは指針がある場合でさえも、従来型の実験では、その効率の悪さゆえ、短期間で満足な新規材料開発ができなかった点を、当該手法では、大幅に改善することができ、既に多くの分野で新規材料発見を実現してきた。ここでは、この独自に開発したコンビナトリアルスパッタコーティングシステム（COSCOS： COmbinatorial Sputter COating System）の詳細についてご紹介する。

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• In Copyright
  

Keyword: コンビナトリアル, 薄膜, スパッタ, マテリアルズインフォマティックス, デバイス, 材料探索, ハイスループット

Date published: [2024年2月]

Publisher: (株)エヌ・ティー・エス

Journal:

• 傾斜機能材料ハンドブック

Funding:

Manuscript type: Author's version (Accepted manuscript)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.4681

First published URL: https://nts-book.stores.jp/items/65b9bc9753ff9f0037b12c7b

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Updated at: 2024-08-26 12:30:27 +0900

Published on MDR: 2024-08-26 12:30:27 +0900